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웨이퍼 정렬에 사용되는 고정도 마이크로 로터리 음성 코일 모터
제품 상세 정보
| 무게 | 21.5g | 길이 | 60mm |
|---|---|---|---|
| 전압 | 15.5V | 제품 모델 | VARS0022-032-00A |
| 보호 기능 | 완전히 둘러싸여 있습니다 | 역기전력 상수(LL)(Kb) | 0.16 |
| 길이*높이(mm) | 60*36 | 최대 여행(MM) | 32' |
| 유형 | 소형 모터 | 정격 속도 | 100rpm |
| 강조하다 | 고 정밀 회전 음성 코일 모터,마이크로 로터리 음성 코일 모터,웨이퍼 정렬 음성 코일 모터 |
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| 모델 | 가격 | |
|---|---|---|
| VARS0022-0032-00B | 105달러 | |
| VARS0048-0030-00A | 230달러 | |
| VARS0706-0014-00A | 115달러 |
제품 설명
제품 설명:
고 정밀 직동 전력 부품으로, 회전 음성 코일 모터는 웨이퍼 정렬 및 위치 프로세스 동안 웨이퍼 각도 캘리브레이션에서 핵심 역할을합니다.±0의 핵심 장점 덕분에0.01° 회전 반복성, 밀리 초 수준 반응 속도, 톱니바퀴 없는 동작, 그리고 낮은 마모웨이퍼 각편 편차는 후속 프로세스의 정확성에 직접 영향을 미칩니다.회전 음성 코일 모터는 비전 위치 시스템에서 피드백을 기반으로 미세한 각 회전 조정을 수행하기 위해 웨이퍼 스테이지를 빠르게 구동 할 수 있습니다.반응시간이 10ms 미만, 리토그래피 마스크와 발사 경로와 와이퍼의 정확한 정렬을 보장합니다. ±0.1° 내의 반복 정확도를 제공합니다.고밀도의 정렬 요구 사항을 완벽하게 충족하는 극 얇고 불규칙한 모양의 웨이퍼또한, 그것의 컴팩트 구조 설계는 제한된 장치 공간에 통합을 허용하고 웨이퍼 조정 플랫폼의 통합 설계 요구 사항에 적합합니다.
특징:
- 제품명: 로터리 음성 코일 모터, 로터리 다이렉트 드라이브 VCM, 스윙 음성 코일 모터, 아크 음성 코일 모터
- 무게: 21.5g
- 모델 번호:VARS0022-032-00A
- 이름: 로터리 음성 코일 모터
- 스트로크: 32°
기술 매개 변수:
| 매개 변수 | 세부 사항 |
|---|---|
| 종류 | 로터리 음성 코일 모터 (로터리 VCM, 로터리 음성 코일 액추에터) |
| 보증 | 1년 |
| 뇌졸중 | 32° |
| 피크 토크 | 0.22 N-m |
| 소음 | 낮은 |
| 길이 | 60mm |
| 속도 | 높은 |
| 무게 | 21.5g |
| 전압 | 15.5V |
| 제품 모델 | 피크 토크 (N-m) |
연속 토크 25°C ((N-m) 에서 |
전체 스트로크 학위 학위 |
최대 전압 (V) |
역 EMF 상수 (V/m/s) |
코일 무게 (g) | 길이 (mm) |
너비 (mm) |
높이 (mm) |
| VARS0008-026-00A | 0.08 | 0.05 | 26 | 6.4 | 0.05 | 11.7 | 35 | 39.8 | 36.1 |
| VARS0017-090-00A | 0.17 | 0.1 | 90 | 11.1 | 0.1 | 17.8 | 70 | 41.5 | 39 |
| VARS0022-032-00A | 0.22 | 0.12 | 32 | 15.5 | 0.16 | 21.5 | 60 | 60 | 36 |
| VARS0042-040-00A | 0.42 | 0.38 | 40 | 3.5 | 0.12 | 38 | 82 | 53.6 | 30.3 |
| VARS0077-020-00A | 0.77 | 0.63 | 20 | 6.7 | 0.24 | 66 | 75 | 50 | 30 |
| VARS0084-030-00A | 0.84 | 0.6 | 30 | 6.3 | 0.2 | 50.4 | 75 | 48.9 | 30.6 |
| VARS0120-020-00A | 1.2 | 0.5 | 20 | 8.4 | 0.67 | 65 | 81 | 73.4 | 32 |
| VARS0350-060-00A | 3.5 | 1.6 | 60 | 26.3 | 0.4 | 350 | ¥1696 | ¥1696 | 63 |
| VARS0706-014-00A | 7.1 | 2.1 | 14 | 52.4 | 1.03 | 225.5 | 115 | 65 | 54.5 |
| VARS4520-030-00A | 45.2 | 19 | 30 | 71.5 | 4.3 | 1350 | ¥240 | 78 |
응용 프로그램:
음성 코일 모터의 주요 용도:
1반도체 산업: 배선, 절단, 굴착, 운송 시스템, 용접, 로봇.
2.장면 밸브 작동:형 측정 밸브, 압력 테스트 시스템, 공기 밸브 화학
주입 시스템
3마이크로 머신 산업:식량 시스템, 마이크로 파도, 정밀 스탬핑.
4진동 시스템: 흔들기 테이블, 진동 플랫폼.
5의료 분야: 마이크로 주사 시스템, 호흡기 장비, 검사 장비.
6항공 기술: 비행 제어 시스템, 조종사 피드백 시스템.
7.상업용 분야:컴퓨터 냉각 펌프 소형 카메라 자동 초점 시스템.
8자동화 산업: 레이저 장비, 디스펜서, 시험 장비, 섬유 기계.
