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고 정밀 마이크로 로터리 음성 코일 모터 웨이퍼 검사 및 측정
제품 상세 정보
| 보호 기능 | 완전히 둘러싸여 있습니다 | 애플리케이션 | 자동 탄 화물 |
|---|---|---|---|
| 전압 | 3.5V | 최대 공세 | 0.42Nm |
| 크기 | 82*53.6*30.3mm | 뇌졸중 | 40 ° |
| 재료 | 알루미늄 합금 | 작동 방법 | 음성 코일 |
| 보증 | 3개월~1년 | 정격 속도 | 100rpm |
| 역기전력 상수(LL)(Kb) | 0.12 | 코일의 무게(g) | 38 |
| 강조하다 | 고 정밀 회전 음성 코일 모터,웨이퍼 검사를 위한 마이크로 음성 코일 모터,보증이 있는 회전 보이스 코일 모터 |
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제품 설명
제품 설명:
웨이퍼 검사 및 측정 장비에서 회전 음성 코일 모터는 정확한 스캔 검사를 달성하기위한 핵심 구동 구성 요소입니다.높은 대역폭과 높은 정밀 직선 드라이브 특성을 활용, 그것은 고 주파수, 작은 각 회전 스캔을 수행하기 위해 검사 프로브 또는 광 렌즈를 구동 할 수 있습니다.특수 모션 컨트롤러의 알고리즘 최적화와 결합, 이것은 나노미터 수준의 결함 식별 및 정확한 측정을 가능하게합니다. 기계적 전송 없이 회전 음성 스필 모터의 설계는 역 반응 오류를 제거합니다.진동 간섭을 효과적으로 억제합니다, 그리고 웨이퍼 결함 검사 및 회로 패턴 스캔 중에 나노 스케일 결함의 정확한 캡처를 보장합니다.그것은 또한 자유의 3도 웨이퍼 조정 플랫폼의 회전 움직임 요구 사항을 충족, θx/θy 축을 따라 미세한 각 조정을 가능하게하여 반도체 제조 공정에서 출력 제어에 신뢰할 수있는 지원을 제공합니다.
특징:
가벼운 액추에이터 코일, 짧은 반응 시간 및 높은 주파수
제품 종류: 회전형 음성 코일 모터, 진동형 음성 코일 모터, 활 모양 음성 코일 모터.
위치 정확도: ±0.08°
토크 범위: 0.42 N·m
회전속도: 100-800 r/min
제품 매개 변수
| 제품 모델 | 피크 토크 (N-m) |
연속 토크 25°C ((N-m) 에서 |
전체 스트로크 (학위) |
최대 전압 (V) |
역 EMF 상수 (V/m/s) |
코일 무게 (g) | 길이 (mm) |
너비 (mm) |
높이 (mm) |
| VARS0008-026-00A | 0.08 | 0.05 | 26 | 6.4 | 0.05 | 11.7 | 35 | 39.8 | 36.1 |
| VARS0017-090-00A | 0.17 | 0.1 | 90 | 11.1 | 0.1 | 17.8 | 70 | 41.5 | 39 |
| VARS0022-032-00A | 0.22 | 0.12 | 32 | 15.5 | 0.16 | 21.5 | 60 | 60 | 36 |
| VARS0042-040-00A | 0.42 | 0.38 | 40 | 3.5 | 0.12 | 38 | 82 | 53.6 | 30.3 |
| VARS0077-020-00A | 0.77 | 0.63 | 20 | 6.7 | 0.24 | 66 | 75 | 50 | 30 |
| VARS0084-030-00A | 0.84 | 0.6 | 30 | 6.3 | 0.2 | 50.4 | 75 | 48.9 | 30.6 |
| VARS0120-020-00A | 1.2 | 0.5 | 20 | 8.4 | 0.67 | 65 | 81 | 73.4 | 32 |
| VARS0350-060-00A | 3.5 | 1.6 | 60 | 26.3 | 0.4 | 350 | ¥1696 | ¥1696 | 63 |
| VARS0706-014-00A | 7.1 | 2.1 | 14 | 52.4 | 1.03 | 225.5 | 115 | 65 | 54.5 |
| VARS4520-030-00A | 45.2 | 19 | 30 | 71.5 | 4.3 | 1350 | ¥240 | 78 |
적용:
| 음성 코일 모터의 주요 용도: |
| 1반도체 산업: 배선, 절단, 굴착, 운송 시스템, 용접, 로봇. |
|
2.장면 밸브 작동:형 측정 밸브, 압력 테스트 시스템, 공기 밸브 화학주입 시스템 |
| 3마이크로 머신 산업:식량 시스템, 마이크로 파도, 정밀 스탬핑. |
| 4진동 시스템: 흔들기 테이블, 진동 플랫폼. |
| 5의료 분야: 마이크로 주사 시스템, 호흡기 장비, 검사 장비. |
| 6항공 기술: 비행 제어 시스템, 조종사 피드백 시스템. |
| 7.상업용 분야:컴퓨터 냉각 펌프 미니어처 카메라 자동 집중 시스템 |
| 8자동화 산업: 레이저 장비,분배기, 시험 장비, 섬유 기계. |
