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고정밀 회전 보이스 코일 모터 (반도체 웨이퍼 검사 장비용)
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x제품 상세 정보
| 무게 | 65g | 길이 | 81mm |
|---|---|---|---|
| 전압 | 8.4V | 제품 모델 | VARS0120-020-00A |
| 피크 힘 | 1.2Nm | 총 뇌졸중 | 20 ° |
| 유형 | 소형 모터 | 하우징 재료 | 알류미늄 |
| 모션 유형 | 로타리 |
필요한 제품을 선택하고 게시판에서 당사와 소통 할 수 있습니다.
| 모델 | 가격 | |
|---|---|---|
| VARS0022-0032-00B | $ 210 | |
| VARS0048-0030-00A | 175달러 | |
| VARS0706-0014-00A | $150 |
제품 설명
제품 설명:
고정밀 진공 방사선 저항 로터리 보이스 코일 모터는 반도체 웨이퍼 검사의 가혹한 환경을 위해 특별히 설계되었으며, 10⁻⁶ Pa의 진공 및 강한 방사선 환경에서 안정적으로 작동할 수 있습니다. 이 모터는 특수 방사선 저항 절연 재료를 사용하며, 유기 휘발성 물질이 없는 권선을 사용하여 웨이퍼 표면 오염을 방지합니다. 여러 각도에서 연속 회전 및 정밀한 각도 위치 지정을 지원하며, 검사 프로브를 구동하여 방향을 조정하는 데 사용됩니다. 비접촉 회전 구조는 마모 및 입자 발생을 보장하지 않아 반도체 산업의 클린룸 요구 사항을 충족합니다. 토크 출력은 부드럽고, 위치 정확도는 ±0.08°에 이르며, 응답 속도가 빨라 웨이퍼 결함 검사, 치수 측정 및 기타 장비에 적합하여 검사 효율성과 데이터 정확도를 향상시키고, 반도체 생산 라인의 자동화 업그레이드를 지원합니다.
특징:
- 제품명: 로터리 보이스 코일 모터
- 무게: 65g
- 크기: 81*73.4*32mm
- 이름: 로터리 보이스 코일 모터
- 스트로크: 20°
- 수명: 10000h
- 진공 레벨: 10⁻⁶ Pa
- 방사선 내성: ≥10⁵ Gy
- 위치 정확도: ±0.08°
- 토크 범위: 1.2 N·m
- 회전 속도: 100-800 r/min
- 보호 등급: IP67 (진공 밀봉)
- 특징: 곡선형 보이스 코일 모터, 회전 VCM, 로터리 보이스 코일 모터
기술 매개변수:
| 매개변수 | 세부 정보 |
|---|---|
| 유형 | 로터리 보이스 코일 모터 (로터리 VCM, 로터리 보이스 코일 액추에이터) |
| 보증 | 1년 |
| 스트로크 | 20° |
| 피크 토크 | 1.2N-m |
| 소음 | 낮음 |
| 크기 | 81*73.4*32mm |
| 길이 | 81mm |
| 속도 | 높음 |
| 무게 | 65g |
| 전압 | 8.4V |
| 제품 모델 | 피크 토크 (N-m) |
연속 토크 25℃에서(N-m) |
총 스트로크 도 (도) |
최대 전압 (V) |
역기전력 상수 (V/m/s) |
코일 무게(g) | 길이 (mm) |
너비 (mm) |
높이 (mm) |
| VARS0008-026-00A | 0.08 | 0.05 | 26 | 6.4 | 0.05 | 11.7 | 35 | 39.8 | 36.1 |
| VARS0017-090-00A | 0.17 | 0.1 | 90 | 11.1 | 0.1 | 17.8 | 70 | 41.5 | 39 |
| VARS0022-032-00A | 0.22 | 0.12 | 32 | 15.5 | 0.16 | 21.5 | 60 | 60 | 36 |
| VARS0042-040-00A | 0.42 | 0.38 | 40 | 3.5 | 0.12 | 38 | 82 | 53.6 | 30.3 |
| VARS0077-020-00A | 0.77 | 0.63 | 20 | 6.7 | 0.24 | 66 | 75 | 50 | 30 |
| VARS0084-030-00A | 0.84 | 0.6 | 30 | 6.3 | 0.2 | 50.4 | 75 | 48.9 | 30.6 |
| VARS0120-020-00A | 1.2 | 0.5 | 20 | 8.4 | 0.67 | 65 | 81 | 73.4 | 32 |
| VARS0350-060-00A | 3.5 | 1.6 | 60 | 26.3 | 0.4 | 350 | ∮169.6 | ∮169.6 | 63 |
| VARS0706-014-00A | 7.1 | 2.1 | 14 | 52.4 | 1.03 | 225.5 | 115 | 65 | 54.5 |
| VARS4520-030-00A | 45.2 | 19 | 30 | 71.5 | 4.3 | 1350 | ∮240 | 78 |
응용 분야:
웨이퍼 결함 검사 및 칩 패키징 공정에서 ±0.1° 이내의 각도 위치 정확도를 가진 로터리 보이스 코일 모터는 검사 프로브를 구동하여 웨이퍼 표면에서 고주파, 소진폭 회전 스캔을 수행합니다. 기계적 전달 구조가 없는 설계는 백래시 오류를 제거하고, 밀리초 수준의 응답 속도와 결합되어 칩 회로의 미세한 세부 사항을 정확하게 포착하여 나노미터 수준의 결함 감지를 달성하고 반도체 제조의 수율 관리에 핵심적인 지원을 제공합니다.
