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Customised VCAP Planar Voice Coil Actuator XY Module for Wafer Probe Stations
제품 상세 정보
| 구성 | 2개의 직교 평면 보이스 코일 액츄에이터 | 축당 최대 추력 | 20N ~ 100N |
|---|---|---|---|
| 축당 이동 | 1mm ~ 15mm | 가이드 유형 | 크로스 롤러 가이드 또는 굴곡 |
| 인코더 해상도 | 1um 또는 0.1um | 직진도 | 전체 이동에 걸쳐 2um 이내 |
| 반복성 | 0.5um(0.1um 인코더 포함) | 케이블 관리 | 내부 하이 플렉스 라우팅 |
| 맞춤화 | 추력, 이동, 봉투, 장착 | 일반적인 응용 | 웨이퍼 프로빙, 광학 검사 |
| 강조하다 | Custom Planar Voice Coil Actuator Module,High Precision XY Stage Actuator,Compact Structure Short Travel XY Module |
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제품 설명
Product Overview The VCAP-XY module is a dual-axis planar actuator module comprising a pair of flat voice-coil drivers mounted vertically on a common base, with cross-roller guides and linear encoders integrated as standard. This product is offered as a customisable platform: peak thrust ranges from 20 N to 100 N per axis, with stroke ranges from 1 mm to 20 mm per axis. Rather than having to purchase two actuators and design a mechanical structure around them, customers
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