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반도체 검사 애플리케이션을 위한 고속 VCAR 음성 코일 모터
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x제품 상세 정보
| 전체 차원 | 200*400*404mm | 특성 | 고가속 |
|---|---|---|---|
| 색상 | 실버 회색 | 패키지 | 상자 포장 |
| 유형 | 소형 모터 | 연속 전류 (A) | 현재의 |
| 속도 | 고속 | 제품 모델 | VCAR0105-0164-00A |
| 전압 | 20V | 연속적인 힘 | 35.4mm |
| 강조하다 | 고속 VCM 음성 코일 모터,반도체 검사용 VCAR 모터,정밀 음성 코일 모터 보증 |
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제품 설명
제품 설명:
VCAR0105-0164-00A는 반도체 검사 장비에 최적화된 고정도 음성 코일 모터입니다.그리고 나노미터 수준 위치, 그것은 현대 반도체 검사 플랫폼에서 속도, 정확성 및 안정성에 대한 엄격한 요구 사항을 충족합니다. 웨이퍼 검사 중에 장비는 신속하고 고정도 3D 스캔을 필요로합니다.및 나노미터 규모의 표면 평면성과 두께를 측정낮은 관성 운동기 및 VCAR0105-0164-00A의 cogging-free 설계는 진동이나 위치 오류 없이 원활한 작동을 보장하는 동시에 밀리 초 수준 교차 움직임을 허용,검사 효율성을 크게 향상시킵니다..
VCAR 시리즈 모터는 리토그래피 기계, 스캔 검사 시스템, 마이크로 포지셔닝 스테이지 및 실험실 자동화에도 널리 사용됩니다.콤팩트한 디자인으로 제한된 공간에 통합 할 수 있습니다., 가벼운 모터와 고 주파수 반응은 고속 스캔 부하에서도 낮은 관동성과 높은 정밀도를 보장합니다. 부드러운 움직임은 진동 영향을 최소화합니다.스캔의 일관성 및 신뢰성을 향상.
특징:
빠른 스캔을 위해 이상적인 고속 및 고속 가속
정확한 측정을 위해 나노미터 수준의 위치
발작 없는 부드러운 움직임
통합을 위한 콤팩트하고 미세한 디자인
닫힌 루프 실시간 제어용 고주파 반응
가벼운 이동기는 관성을 줄이고 역학을 향상시킵니다.
장시간 고주파 작동을 위한 내구성
기술 매개 변수:
| 제품 모델 | 최고 힘 (N) |
지속력 25°C (북쪽) |
전체 스트로크 (mm) |
최대 전압 (V) |
역 EMF 상수 (V/m/s) |
코일 무게 (g) |
스테이터 지름 (mm) | 길이가 (mm) |
| VCAR0001-0064-00A | 0.88 | 0.28 | 6.4 | 6.9 | 0.29 | 3 | 9.5 | 17.7 |
| VCAR0001-0010-00A | 0.73 | 0.42 | 1 | 4.8 | 0.6 | 2.7 | 24 | 11.2 |
| VCAR00025-0127-00A | 2.55 | 0.81 | 12.7 | 11.6 | 0.77 | .6.6 | 12.7 | 24 |
| VCAR0006-0039-00A | 6.2 | 1.9 | 3.9 | 6.6 | 1.12 | 7.9 | 20 | 17.2 |
| VCAR0006-0050-00A | 6.2 | 2.6 | 5 | 15.7 | 3.57 | 8.2 | 25 | 18.2 |
| VCAR0007-0040-00A | 7.2 | 2.4 | 4 | 7.5 | 1.88 | 7 | 14.2 | 23 |
| VCAR0007-0064-00A | 7.8 | 2.5 | 6.4 | 9.9 | 1.5 | 7.2 | 19.1 | 23.8 |
| VCAR0007-0127-00A | 7.1 | 2.3 | 12.7 | 12.8 | 1.6 | 11.4 | 19.1 | 27 |
| VCAR0011-0050-00A | 11.4 | 2.1 | 5 | 11.8 | 3 | 11.2 | 24 | 17.2 |
| VCAR0011-0100-00A | 10.5 | 2.9 | 10 | 43.8 | 3.5 | 20 | 31 | 26.8 |
| VCAR0013-0030-00A | 13 | 3.5 | 3 | 16 | 3.5 | 12 | 25 | 21 |
| VCAR0013-0072-00A | 13 | 4.2 | 7.2 | 26.6 | 5.72 | 16.2 | 26.2 | 24.7 |
| VCAR0014-0250-00A | 14 | 4.5 | 25 | 26.5 | 3.9 | 35 | 25.4 | 44.2 |
| VCAR0015-0062-00A | 15 | 6.5 | 6.2 | 26.2 | 9.75 | 14.8 | 33 | 25.6 |
| VCAR0022-0098-00A | 22 | 6.6 | 9.8 | 24.7 | 5.8 | 20 | 34.1 | 35 |
| VCAR0022-0448-00A | 22 | 11.4 | 44.8 | 14.3 | 4 | 52 | 48 | 75.7 |
| VCAR0025-0630-00A | 25.3 | 8 | 63 | 50.6 | 5 | 68 | 31.8 | 83.1 |
| VCAR0030-0150-00A | 29.4 | 4.73 | 15 | 40.5 | 7.4 | 27 | 30 | 31 |
| VCAR0032-0050-00A | 32 | 8.9 | 5 | 29.3 | 7.1 | 48 | 40 | 41.7 |
| VCAR0033-0099-00A | 33 | 8 | 9.9 | 24.3 | 5.87 | 23.5 | 36 | 26.7 |
| VCAR0033-0224-00A | 33 | 13.5 | 22.4 | 26.7 | 6.8 | 69 | 58 | 72 |
| VCAR0035-0090-00A | 35 | 11 | 9 | 26.4 | 9 | 33 | 25.4 | 44.3 |
| VCAR0035-0105-00A | 35 | 15.6 | 10.5 | 11.9 | 5 | 91 | 50 | 67 |
| VCAR0044-0040-00A | 44 | 16.3 | 4 | 18.3 | 8.9 | 46.5 | 53 | 21.2 |
| VCAR0044-0059-00A | 44.1 | 17.7 | 5.9 | 14.3 | 8 | 43 | 46 | 22 |
| VCAR0044-0075-00A | 44 | 13.7 | 7.5 | 16.8 | 7.6 | 38.6 | 31.1 | 35.9 |
| VCAR0044-0249-00A | 44 | 11.7 | 24.9 | 44.9 | 8.88 | 65.9 | 38.1 | 51.3 |
| VCAR0070-0149-00A | 70 | 27.3 | 14.9 | 26.9 | 17.7 | 79 | 43 | 53.7 |
| VCAR0075-0200-00A | 75 | 30 | 20 | 26.2 | 15.2 | 65 | 70 | 38.7 |
| VCAR0080-0129-00A | 80 | 35 | 12.9 | 27.7 | 18 | 149 | 49 | 53.8 |
| VCAR0087-0062-00A | 87 | 21.67 | 6.2 | 34.5 | 12.7 | 45.2 | 43.1 | 34.9 |
| VCAR0087-0563-00A | 87 | 17.5 | 56.3 | 63.4 | 8.1 | 177 | 72 | 110 |
| VCAR0105-0164-00A | 105 | 35.4 | 16.1 | 20.1 | 11.5 | 150 | 60.4 | 40.4 |
| VCAR0110-0380-00A | 110 | 37.4 | 38 | 23.2 | 9 | 150 | 60.4 | 60.4 |
| VCAR0113-0089-00A | 113 | 35 | 8.9 | 31 | 17.5 | 125 | 73 | 27.5 |
| VCAR0115-0065-00A | 115 | 30.1 | 6.5 | 35 | 17.3 | 52 | 40 | 58 |
| VCAR0130-0310-00A | 130 | 40 | 31 | 30.4 | 20.5 | 280 | 75.6 | 56.5 |
| VCAR0140-0150-00A | 140 | 42.2 | 15 | 33.4 | 26.6 | 80 | 53 | 53.7 |
| VCAR0210-0254-00A | 210 | 66.2 | 25.4 | 56.6 | 28 | 230 | 43.7 | 111.8 |
| VCAR0262-0112-00A | 262 | 111 | 11.2 | 35.1 | 41 | 285 | 71 | 64 |
| VCAR0262-0249-00A | 262 | 112 | 24.9 | 28.2 | 26 | 785 | 66 | 109.1 |
| VCAR0294-0498-00A | 294 | 56.8 | 49.8 | 114 | 24.5 | 685 | 93 | 136.9 |
| VCAR0436-0187-00A | 436 | 147.6 | 18.7 | 40.7 | 40.7 | 648 | 80.4 | 91 |
| VCAR0436-0250-00A | 436 | 167 | 25 | 31.6 | 37.2 | 775 | 78.4 | 110 |
| VCAR0436-0373-00A | 436 | 142.6 | 37.3 | 38 | 29.8 | 1050 | 76 | 163 |
| VCAR0980-0249-00A | 980 | 605 | 24.9 | 41.5 | 104 | 1426 | 126 | 134.5 |
| VCAR1351-0310-00A | 1351 | 376.8 | 31 | 73.5 | 68 | 1071 | 110 | 143.7 |
응용 프로그램:
반도체 웨이퍼 표면 검사
리토그래피 기계 위치
고속 스캔 시스템
마이크로 포지셔닝 스테이지 및 실험실 자동화
자동 반도체 생산 라인
왜 VCAR를 선택합니까?
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높은 정확성, 높은 속도, 그리고 높은 가속
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부드럽고 진동 없는 움직임은 신뢰할 수 있는 검사 를 보장 합니다
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스트로크, 힘 및 장착에 대한 OEM / ODM 사용자 정의
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닫힌 루프 제어 및 정밀 피드백 장치를 지원