반도체 레이저 절단용 고 정밀 마이크로 평면 선형 음성 코일 모터

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x보증 | 3개월~1년 | 제품 모델 | VCAP0030-0200-00A |
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피크 힘 | 30N | 변동 | 붓 |
연속적인 힘(N) | 12.3 | 음성 코일 모터 (V) | 24.3 |
크기 볼륨 | 80*74*25 | 항구 | 상하이 |
최대 여행(MM) | 20 | 종류 | 소형 모터 |
보호 기능 | 완전히 에워싸입니다 |
제품 설명:
VCAP 시리즈 평면 선형 음성 스핀 모터와 직사각형 선형 음성 스핀 모터는 동일한 부피에 대해 비교적 짧은 이동을 가지고 있습니다.하지만 평면 선형 음성 코일 모터는 낮은 높이의 장점이 있습니다최대 500N의 힘 범위와 최대 15mm의 충격 힘으로, 평면 선형 음성 코일 모터 VCAP 시리즈는 x-y 축 이동에 이상적입니다.반도체 및 소형 기계 도구 산업의 주요 시장으로.
평면 음성 코일 모터는 로렌츠 힘 원리에 기반한 선형 드라이브입니다. 전류가 자기장에 내장된 코일을 통과하면 코일은 선형 움직임을 달성하도록 밀어집니다.꽉 막혔어, 사용자 정의 가능한 평면 모양은 레이저 절단 머리와 고 정밀 단계에 통합하기에 적합합니다.
반도체 레이저 절단에서 평면 선형 음성 코일 모터의 적용은 주로 고 정밀 위치, 높은 반응 속도 및 마찰 없는 전송의 측면입니다.그것은 나노미터 수준에서 동적 성능과 신뢰성에 대한 현대 마이크로 전자 제조의 매우 높은 요구 사항을 충족합니다..
오늘날, 레이저 절단은 칩 제조에서 웨이퍼 절단에 사용되는 핵심 프로세스이며, 매우 높은 위치 정밀도 (마이크론 또는 나노미터 수준) 를 요구합니다.
매우 높은 위치 정밀도 (마이크론 또는 나노미터 규모), 빠른 반응 서보 제어 시스템, 부드럽고 진동 없는 운동 궤도,그리고 칩에 손상을 방지하기 위해 제어 가속/연속.
특징:
종류: 평면 음성 코일 모터, 평면 선형 음성 코일 모터, 평면 선형 모션 모터, X-Y 축 모션 액추에터, 평면 선형 음성 코일 모터
평면 선형 음성 코일 모터화 된 하위 코일은 가볍고 빠른 반응, 짧은 반응 시간, 높은 주파수, 짧은 스트로크, 컴팩트, 고 정밀 동적 위치.
스트로크 1mm-20mm
최고 추진력 1N-300N
일반적으로 x-y 축 이동 단계에 사용됩니다.
제품 매개 변수
제품 모델 | 최고 힘 (N) |
지속력 25°C (북쪽) |
전체 스트로크 (mm) |
최대 전압 (V) |
역 EMF 상수 (V/m/s) |
길이 (mm) |
너비 (mm) |
높이 (mm) |
VCAP0020-0068-00A | 20 | 5.5 | 6.8 | 8.2 | 4.4 | 39 | 50 | 21.5 |
VCAP0020-0160-00A | 20 | 5.3 | 16 | 27.6 | 4.4 | 59 | 50 | 22.5 |
VCAP0030-0200-00A | 30 | 12.3 | 20 | 24.3 | 10.5 | 80 | 74 | 25 |
VCAP0100-0020-00A | 100 | 47 | 4 | 41.2 | 80.1 | 110 | 105 | 51 |
응용 프로그램:
반도체 및 소형 기계 도구 산업에서 널리 사용됩니다.
모듈형 디자인, 사용자 정의 할 수 있습니다.
평면 선형 음성 코일 모터의 주요 응용 분야:
1반도체 산업: 배선, 절단, 굴착, 운송 시스템, 용접, 로봇.
2미세 기계 산업: 공급 시스템, 미세 굴착, 정밀 스탬핑.
3진동 시스템: 진동 테이블, 진동 플랫폼.
4자동화 산업: 레이저 장비, 유통업체, 시험 장비, 섬유 기계.
사용:BOAT, UAV, 3D 프린팅, 미시경, 로봇, 의료 환기장, 광학 프로젝트.