반도체 제조에서 광 리토그래피 기계에 대한 고속 VCM 음성 코일 모터

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x전체 스트로크 | 25mm | 무게 | 35g |
---|---|---|---|
맥스 전압 | 26.5V | 피크 포스(N) | 14 |
전체적인 차원 | 200*400*404mm | 보증 | 3년 |
신뢰성 | 높은 | 종류 | 소형 모터 |
모델 번호 | VCAR0014-0250-00A | 건축물 | 영구 자석 |
속도 (RPM) | 고속도 | 보호 기능 | 완전히 에워싸입니다 |
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제품 설명:
VCAR 시리즈의 실린더 액추에터는 시장의 거의 80%를 차지합니다. 그들은 높은 가속도와 높은 힘을 생산할 수 있습니다.주름 길이는 50mm 미만입니다..
음성 코일 모터는 반도체 장비 분야에서 다음과 같은 응용 프로그램을 가지고 있습니다.
분배기: 반도체 포장 과정에서 분배기는 접착제의 위치와 양을 정확하게 제어해야합니다.음성 코일 모터는 반도체 칩 포장 품질을 보장하기 위해 고 정밀 분배 작업을 달성하기 위해 분배 머리의 움직임을 정확하게 제어 할 수 있습니다..
납 와이어 결합 기계: 칩의 핀을 패키지 기판의 핀과 연결하는 데 사용됩니다. 높은 위치 정확성과 움직임 속도가 필요합니다.음성 코일 모터는 납 결합의 품질과 효율성을 보장하기 위해 빠르고 정확한 동작 제어 기능을 제공 할 수 있습니다..
PCB 굴착 기계: 인쇄 회로 보드의 제조 과정에서 굴착 작업이 필요합니다.음성 코일 모터는 높은 정밀도 드릴링을 실현하고 PCB의 처리 정확성과 품질을 향상시키기 위해 드릴링 헤드의 움직임을 제어 할 수 있습니다..
사진 리토그래피 기계: 사진 리토그래피 기계는 반도체 제조의 핵심 장비 중 하나이며, 매우 높은 정확성과 움직임 제어 속도를 필요로합니다.음성 코일 모터는 리토그래피에서 마스크 테이블과 웨이퍼 테이블의 움직임을 제어하여 리토그래피의 정확성과 효율성을 보장하는 데 사용됩니다..
웨이퍼를 선택하고 배치: 반도체 웨이퍼의 생산 과정에서 웨이퍼를 선택하고 배치하는 것이 필요합니다.음성 코일 모터는 안전하고 정확한 선택과 웨이퍼의 위치를 보장하고 생산 효율성을 향상시키기 위해 정확한 움직임 제어를 제공할 수 있습니다.
특징:
높은 반응, 높은 가속, 낮은 질량의 코일.
마찰효과가 없고 히스테레시도 없습니다.
간단한 구조, 가벼운 무게, 높은 주파수 반응, 원활한 작동.
스트록: 1mm-60mm
추진력: 0.5N~3000N
제품 매개 변수
제품 모델 | 최고 힘 (N) |
지속력 25°C (북쪽) |
전체 스트로크 (mm) |
최대 전압 (V) |
역 EMF 상수 (V/m/s) |
코일 무게 (g) |
스테이터 지름 (mm) | 길이가 (mm) |
VCAR0001-0064-00A | 0.88 | 0.28 | 6.4 | 6.9 | 0.29 | 3 | 9.5 | 17.7 |
VCAR0001-0010-00A | 0.73 | 0.42 | 1 | 4.8 | 0.6 | 2.7 | 24 | 11.2 |
VCAR00025-0127-00A | 2.55 | 0.81 | 12.7 | 11.6 | 0.77 | .6.6 | 12.7 | 24 |
VCAR0006-0039-00A | 6.2 | 1.9 | 3.9 | 6.6 | 1.12 | 7.9 | 20 | 17.2 |
VCAR0006-0050-00A | 6.2 | 2.6 | 5 | 15.7 | 3.57 | 8.2 | 25 | 18.2 |
VCAR0007-0040-00A | 7.2 | 2.4 | 4 | 7.5 | 1.88 | 7 | 14.2 | 23 |
VCAR0007-0064-00A | 7.8 | 2.5 | 6.4 | 9.9 | 1.5 | 7.2 | 19.1 | 23.8 |
VCAR0007-0127-00A | 7.1 | 2.3 | 12.7 | 12.8 | 1.6 | 11.4 | 19.1 | 27 |
VCAR0011-0050-00A | 11.4 | 2.1 | 5 | 11.8 | 3 | 11.2 | 24 | 17.2 |
VCAR0011-0100-00A | 10.5 | 2.9 | 10 | 43.8 | 3.5 | 20 | 31 | 26.8 |
VCAR0013-0030-00A | 13 | 3.5 | 3 | 16 | 3.5 | 12 | 25 | 21 |
VCAR0013-0072-00A | 13 | 4.2 | 7.2 | 26.6 | 5.72 | 16.2 | 26.2 | 24.7 |
VCAR0014-0250-00A | 14 | 4.5 | 25 | 26.5 | 3.9 | 35 | 25.4 | 44.2 |
VCAR0015-0062-00A | 15 | 6.5 | 6.2 | 26.2 | 9.75 | 14.8 | 33 | 25.6 |
VCAR0022-0098-00A | 22 | 6.6 | 9.8 | 24.7 | 5.8 | 20 | 34.1 | 35 |
VCAR0022-0448-00A | 22 | 11.4 | 44.8 | 14.3 | 4 | 52 | 48 | 75.7 |
VCAR0025-0630-00A | 25.3 | 8 | 63 | 50.6 | 5 | 68 | 31.8 | 83.1 |
VCAR0030-0150-00A | 29.4 | 4.73 | 15 | 40.5 | 7.4 | 27 | 30 | 31 |
VCAR0032-0050-00A | 32 | 8.9 | 5 | 29.3 | 7.1 | 48 | 40 | 41.7 |
VCAR0033-0099-00A | 33 | 8 | 9.9 | 24.3 | 5.87 | 23.5 | 36 | 26.7 |
VCAR0033-0224-00A | 33 | 13.5 | 22.4 | 26.7 | 6.8 | 69 | 58 | 72 |
VCAR0035-0090-00A | 35 | 11 | 9 | 26.4 | 9 | 33 | 25.4 | 44.3 |
VCAR0035-0105-00A | 35 | 15.6 | 10.5 | 11.9 | 5 | 91 | 50 | 67 |
VCAR0044-0040-00A | 44 | 16.3 | 4 | 18.3 | 8.9 | 46.5 | 53 | 21.2 |
VCAR0044-0059-00A | 44.1 | 17.7 | 5.9 | 14.3 | 8 | 43 | 46 | 22 |
VCAR0044-0075-00A | 44 | 13.7 | 7.5 | 16.8 | 7.6 | 38.6 | 31.1 | 35.9 |
VCAR0044-0249-00A | 44 | 11.7 | 24.9 | 44.9 | 8.88 | 65.9 | 38.1 | 51.3 |
VCAR0070-0149-00A | 70 | 27.3 | 14.9 | 26.9 | 17.7 | 79 | 43 | 53.7 |
VCAR0075-0200-00A | 75 | 30 | 20 | 26.2 | 15.2 | 65 | 70 | 38.7 |
VCAR0080-0129-00A | 80 | 35 | 12.9 | 27.7 | 18 | 149 | 49 | 53.8 |
VCAR0087-0062-00A | 87 | 21.67 | 6.2 | 34.5 | 12.7 | 45.2 | 43.1 | 34.9 |
VCAR0087-0563-00A | 87 | 17.5 | 56.3 | 63.4 | 8.1 | 177 | 72 | 110 |
VCAR0105-0164-00A | 105 | 35.4 | 16.1 | 20.1 | 11.5 | 150 | 60.4 | 40.4 |
VCAR0110-0380-00A | 110 | 37.4 | 38 | 23.2 | 9 | 150 | 60.4 | 60.4 |
VCAR0113-0089-00A | 113 | 35 | 8.9 | 31 | 17.5 | 125 | 73 | 27.5 |
VCAR0115-0065-00A | 115 | 30.1 | 6.5 | 35 | 17.3 | 52 | 40 | 58 |
VCAR0130-0310-00A | 130 | 40 | 31 | 30.4 | 20.5 | 280 | 75.6 | 56.5 |
VCAR0140-0150-00A | 140 | 42.2 | 15 | 33.4 | 26.6 | 80 | 53 | 53.7 |
VCAR0210-0254-00A | 210 | 66.2 | 25.4 | 56.6 | 28 | 230 | 43.7 | 111.8 |
VCAR0262-0112-00A | 262 | 111 | 11.2 | 35.1 | 41 | 285 | 71 | 64 |
VCAR0262-0249-00A | 262 | 112 | 24.9 | 28.2 | 26 | 785 | 66 | 109.1 |
VCAR0294-0498-00A | 294 | 56.8 | 49.8 | 114 | 24.5 | 685 | 93 | 136.9 |
VCAR0436-0187-00A | 436 | 147.6 | 18.7 | 40.7 | 40.7 | 648 | 80.4 | 91 |
VCAR0436-0250-00A | 436 | 167 | 25 | 31.6 | 37.2 | 775 | 78.4 | 110 |
VCAR0436-0373-00A | 436 | 142.6 | 37.3 | 38 | 29.8 | 1050 | 76 | 163 |
VCAR0980-0249-00A | 980 | 605 | 24.9 | 41.5 | 104 | 1426 | 126 | 134.5 |
VCAR1351-0310-00A | 1351 | 376.8 | 31 | 73.5 | 68 | 1071 | 110 | 143.7 |
제품 사용법:
모터는 주로 의료, 반도체, 항공 및 자동차 응용 분야에 사용됩니다. 밸브 액추에이터, 작은 정밀 교체 측정기,진동 플랫폼 및 활성 진동 완화 시스템시장은 주로 의료, 반도체, 항공우주 및 자동화 산업에 있습니다.
음성 코일 모터의 주요 용도: |
1반도체 산업: 배선, 절단, 굴착, 운송 시스템, 용접, 로봇. |
2.장면 밸브 작동:형 측정 밸브, 압력 테스트 시스템, 공기 밸브 화학 주입 시스템 |
3마이크로 머신 산업:식량 시스템, 마이크로 파도, 정밀 스탬핑. |
4진동 시스템: 흔들기 테이블, 진동 플랫폼. |
5의료 분야: 마이크로 주사 시스템, 호흡기 장비, 검사 장비. |
6항공 기술: 비행 제어 시스템, 조종사 피드백 시스템. |
7.상업용 분야:컴퓨터 냉각 펌프 미니어처 카메라 자동 집중 시스템 |
8자동화 산업: 레이저 장비,분배기, 시험 장비, 섬유 기계. |