낮은 소음 고 정밀 선형 음성 코일 모터 반도체 장비를 위한 평면 모터

제품 설명:

선형 음성 코일 모터 평면 모터는 코일, 영구 자석 및 요크의 세 가지 주요 부분으로 구성됩니다. 영구 자석이 활성화되면,코일 푸셔는 코일 평면 방향에 세로 움직임을 생성하는 amperometric 힘에 노출됩니다코일 전류의 방향과 크기를 제어함으로써 코일 운동 방향과 적용 된 추진량을 정확하게 제어 할 수 있습니다.이 유형의 제어 플래트 플레이트 음성 코일 모터가 다른 응용 프로그램의 요구를 충족시키기 위해 선형 또는 원형 움직임을 달성 할 수 있습니다..
선형 음성 코일 모터의 빠른 반응 속도는 고 주파수 및 고 정밀 운동 제어의 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.간단한 구조와 작은 크기는 설치와 유지보수를 용이하게합니다.같은 차원으로 평면 음성 코일 모터 시리즈는 직사각형 음성 코일 모터 시리즈보다 짧은 스트로크를 가지고 있지만 더 낮은 표면 높이의 장점이 있습니다.최대 500N의 추진력과 최대 15mm의 스트로크가 가능합니다..

선형 음성 코일 액추에이터의 적용은 반도체 장비에서 주로 고속 및 고 정밀 모션 제어입니다. 반도체 제조 및 포장 과정에서비행기의 음성 코일 모터는 빠른 응답 속도와 높은 정밀성 특성 때문에 다양한 장비에서 널리 사용됩니다.평면 음성 코일 모터는 납 결합 기계, 분배기, 광 리토그래피, PCB 굴착, 웨이퍼 픽 앤 플래스 및 부품 검사 장비에 사용됩니다.이 응용 프로그램은 작은 부분의 위치와 움직임을 정확하게 제어 할 수있는 장비가 필요합니다이 높은 정확성과 속도 요구 사항은 선형 음성 코일 액추에이터를 사용하여 충족 될 수 있으며, 이로 인해 반도체 제조 및 포장 프로세스의 효율성과 제품 품질을 향상시킵니다.
짧은 스트로크 X-Y 움직임을 생성하는 데 이상적입니다. 평면 시리즈는 주로 반도체 및 마이크로 기계 도구 산업에 판매됩니다. 모듈형 설계, 사용자 정의 할 수 있습니다.

특징:

액추에이터 코일은 가볍고 반응시간이 짧고 주파수가 높습니다.
짧은 스트록, 콤팩트한 구조
스트로크 1mm-20mm
최고 추진력 1N-500N

제품 매개 변수

응용 프로그램:

VCAP 시리즈 플래너 액추에터는 직사각형보다 크기에 따라 더 낮은 스트록 길이를 가지고 있지만 또한 낮은 높이 프로필을 가지고 있습니다.Forces range up to 500N and strokers to 15mmThe VCAP series Planer Actuator are the ideal solution for very small stroke X-Y Axis movements and their major market is in the semiconductor and micro machine tool industries.