반도체 산업용 직사각형 음성 코일 모터 장거리 선형 모터

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x전압 | 12.6V | 소음 수준 | 낮은 |
---|---|---|---|
무게 | 40g | 키워드 | 보이스 코일 액츄에이터 |
뇌졸중 | 34.3 밀리미터 | 사용 | 보트, 자동차, 의료용 호흡기, 현미경, 광학, 광학 렌즈, 레이저 장비 |
속도 (RPM) | 가변성 속도 | 사이즈(mm) | 68.3*6.*34.8 |
피크 힘(N) | 13 | ||
강조하다 | 반도체 산업 선형 모터,직사각형 음성 코일 모터,장거리 선형 모터 |
제품 설명:
VCAS 시리즈 직사각형 액추에이터는 실린더 액추에이터보다 단위 중량 당 더 낮은 추진력을 제공하지만 더 긴 스트로크와 1000N 및 250mm까지의 추진 범위가 있습니다.직사각형 액추에이터 VCAS 시리즈는 X-Y 축 이동에 대한 이상적인 솔루션입니다, 반도체 및 마이크로 기계 도구 산업이 주요 시장입니다.
직사각형 음성 코일 모터 선형 모터는 빠른 반응, 정확한 제어 및 접촉 마찰이없는 장점을 제공합니다. 다음으로 반도체 장비에서 사용하는 방법에 대해 이야기 해 보겠습니다.
그들의 직사각형 음성 코일 모터는 반도체 제조 장비에서 중요한 역할을 합니다.광 시스템에서 렌즈와 거울의 정확한 위치를 조정하기 위한 사진 리토그래피 기계와 같이.
광리토그래피는 반도체 제조 과정에서 회로 패턴을 실리콘 웨이퍼로 전송하는 핵심 장비입니다.사진 리토그래피 는 극도의 정확성 과 신속 한 반응 을 요구 한다직사각형 음성 코일 모터 높은 가속, 정밀한 위치 제어 및 마모 없는 움직임의 선형 모터는 리토그래피 정렬 및 스캔 시스템에 사용하기에 이상적입니다.
웨이퍼 취급에서: 직사각형 음성 코일 모터 선형 모터는 정확한 위치 제어 및 빠른 응답을 위해 웨이퍼 조각, 포장 및 테스트 프로세스에서 사용됩니다.웨이퍼의 정확하고 빠른 이동이 필요합니다.음성 코일 모터는 매우 정확한 위치를 보장하기 위해 마찰없는 선형 움직임을 제공합니다.
제품 매개 변수
제품 모델 | 최고 힘 (N) |
지속력 25°C (북쪽) |
전체 스트로크 (mm) |
최대 전압 (V) |
역 EMF 상수 (V/m/s) |
코일 무게 (g) |
길이 (mm) |
너비 (mm) |
높이 (mm) |
VCAS0002-0498-00A | 2.1 | 1.3 | 50 | 11.3 | 1.3 | 15 | 72 | 42.6 | 33 |
VCAS0002-0747-00A | 2.1 | 1.3 | 74.7 | 11.3 | 1.3 | 15 | 100.5 | 42.6 | 37 |
VCAS0006-0030-00A | 6.1 | 3.2 | 3 | 13.3 | 4.6 | 18.2 | 25.1 | 34.1 | 27 |
VCAS0006-0099-00A | 6.1 | 3.2 | 10 | 13.7 | 4.6 | 18.2 | 33.5 | 34.1 | 26.9 |
VCAS0013-0343-00A | 13 | 8 | 34.3 | 12.6 | 5.8 | 40 | 68.3 | 60 | 34.8 |
VCAS0065-1000-00A | 65 | 22.4 | 100 | 28.7 | 9.7 | 135 | 170 | 59.6 | 81.9 |
적용:
음성 코일 모터의 주요 용도: |
1반도체 산업: 배선, 절단, 굴착, 운송 시스템, 용접, 로봇. |
2.장터에서 밸브 작동:형 측정 밸브, 압력 테스트 시스템, 공기 밸브 화학 주입 시스템. |
3마이크로 머신 산업:식량 시스템, 마이크로 파도, 정밀 스탬핑. |
4진동 시스템: 흔들기 테이블, 진동 플랫폼. |
5의료 분야: 마이크로 주사 시스템, 호흡기 장비, 검사 장비. |
6항공 기술: 비행 제어 시스템, 조종사 피드백 시스템. |
7.상업용 분야:컴퓨터 냉각 펌프 미니어처 카메라 자동 집중 시스템 |
8자동화 산업: 레이저 장비, 디스펜서, 시험 장비, 섬유 기계. |