마이크로 영구 자석 모터 선형 내장 샤프트 음성 코일 모터 반도체 산업

모델은 VCAH0070-0149-00A 음성 코일 모터, 내장 모션 샤프트와 정밀 선형 베어링이 있습니다. 이동 샤프트는 가벼운 고품질 재료로 만들어집니다.고직성 및 마모 저항성그것은 가벼운 무게, 작은 부피, 짧은 반응 시간, 높은 주파수, 높은 정확성, 높은 가속, 긴 수명 등으로 특징입니다. 완전히 폐쇄 된 샤프트 음성 코일 모터와 완전히 보호 된 수출형 음성 코일 모터를 제공합니다. 뛰어난 성능을 제공하며 낮은 소음 수준에서 완전히 폐쇄됩니다.알루미늄 합금으로 만들어져, 전체 하우스 음성 코일 액추에이터는 우수한 내구성과 수명을 제공합니다.

선형 내장 셰프트 음성 코일 모터 (VCM) 는 반도체 산업에서 광범위한 응용 분야를 가지고 있으며 주로 다음과 같은 분야에서 사용됩니다.

리토그래피 시스템:

리토그래피는 반도체 제조 과정의 핵심 장비이며, 실리콘 웨이퍼에 회로 패턴을 전송하는 데 사용됩니다.리토그래피 는 극도의 정확성 과 신속 한 반응 을 요구 한다선형 내장 셰프트 음성 코일 모터는 높은 가속력으로 인해 리토그래피 기계의 정렬 및 스캔 시스템에 사용하기에 이상적입니다.정밀한 위치 제어 및 마모 없는 움직임.
웨이퍼 처리:

웨이퍼를 취급하는 동안 웨이퍼는 정확하고 빠르게 이동해야합니다. 음성 코일 모터는 취급 중 웨이퍼의 매우 정확한 위치를 보장하기 위해 마찰없는 선형 움직임을 제공합니다.이것은생산성과 생산성을 향상시키기 위해 웨이퍼의 위치 및 로딩.
탐사지:

프로브 스테이션은 반도체 테스트 중에 전기적 특성을 테스트하기 위해 웨이퍼의 특정 위치에 정확하게 프로브를 배치하는 데 사용됩니다.높은 정확성 및 음성 코일 모터의 반응은 그들이 소규모 움직임에 이상적으로 적합하고 탐사 스테이션의 정확한 위치 요구.
포장 장비:

반도체 포장 과정에서 칩은 정확하게 장착되고 연결되어야 합니다. 음성 코일 모터는 장착 머리의 정확한 제어와 빠른 반응에서 핵심 역할을 할 수 있습니다.따라서 포장 과정의 속도와 정확도를 높입니다..
자동 정렬 시스템:

반도체 제조에서 정렬 과정은 각 계층의 회로 패턴이 올바르게 쌓여 있는지 확인하기 위해 높은 수준의 정밀도를 요구합니다.음성 코일 모터의 고 정밀 위치 특성은 자동 정렬 시스템에서 사용하기에 이상적입니다., 나노미터 수준의 정렬 정확도를 가능하게 합니다.

기술 매개 변수:

응용 프로그램:

 기술 지표 및 사양은 사용자 정의 될 수 있습니다.

만족스러운 판매 후 서비스