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반도체 장비용 고속 고정밀 진동 모터
제품 상세 정보
| 모터 유형 | 진동 모터 | 피크 힘 | 10N |
|---|---|---|---|
| 모델사양 | VCZA0010-0020-00A | 인증 | ISO9001 |
| 현재 시작 | 1.6mA | 정격전압 | 14.8V |
| 진동 진폭 | 0.5mm | 포지셔닝 정확도 | ± 1μm |
| 뇌졸중 | 5-50mm | 최대 속도 | 2m/s |
제품 설명
제품 설명:
SUPTMOTION VCAZ 시리즈 음성 코일 액추에이터는 높은 정확성, 빠른 반응 및 컴팩트 통합을 요구하는 응용 프로그램에 설계된 고성능 축형 선형 모터입니다.첨단 전자기 드라이브 기술을 기반으로, VCAZ 시리즈는 기계적 변속기 구성 요소 없이 직접 구동 선형 움직임을 제공하여 예외적인 위치 정확성과 원활한 역학적 성능을 보장합니다.
높은 주파수 반응, 높은 속도, 작은 크기, 긴 서비스 수명으로, VCAZ 시리즈 작동기는 정밀 자동화 시스템, 레이저 처리 장비,반도체 제조, 광학 정렬 및 고속 검사 플랫폼.
SUPTMOTION VCAZ 시리즈 고 정밀 음성 코일 액추에터는 초정확한 위치 및 빠른 동적 반응이 필요한 고급 반도체 장비에 설계되었습니다.직동 축적 전자기 구조를 갖춘, 이 액추에이터는 부드러운 움직임, 높은 정확도, 그리고 제로 역반응을 제공합니다.
높은 주파수 반응, 컴팩트 크기와 긴 수명으로 VCAZ 시리즈는 웨이퍼 위치 시스템, 반도체 검사 플랫폼 및 마이크로 모션 스테이지에 이상적입니다.
특징:
극도로 높은 위치 정확성
정밀 움직임에 대한 높은 동적 반응
콤팩트하고 가벼운 디자인
제로 역반응 직전 시스템
최소한의 유지 보수와 함께 긴 운용 기간
부드럽고 안정적인 동작 제어
청정실용용
제품 매개 변수
| 모델 번호 | VCAZ0010-0020-00A | |||
| 코일 매개 변수 | 용인성 | 기호 | 가치 | 단위 |
| DCR | ±10% | R | 9.5 | 오 |
| 피크 전압 | 표준 값 | Vp | 14.8 | V |
| 최대 전류 | 표준 값 | IP | 1.6 | A |
| 힘 상수 | ±7.5% | KF | 2.7 | 제1호 |
| 역 EMF 상수 | 표준 값 | KD | 2.7 | V/M/Sec |
| 인덕턴스 | ±30% | L | 0.37 | mH |
| 액추에이터 매개 변수 | 기호 | 가치 | 단위 | |
| 최고 힘 | Fp | 4.2 | N | |
| 연속적인 정지 힘 | Fc | 2.2 | N | |
| 액추에이터 콘스턴트 | 카 | 0.87 | 서쪽 | |
| 전기 시간 상수 | 이 | 0.04 | 밀리초 | |
| Pmax | Pp | 24 | W | |
| 뇌졸중 | S | 1.5 | mm | |
| 코일 양쪽의 공백 | CL | 0.8 | mm | |
| 열 저항 | 다른 것 | 20 | °C/W | |
| 허용되는 최대 온도 | Tmax | 150 | °C | |
| 코일 무게 | WTc | 13 | g | |
| 자석철의 무게 | WTE | 56 | g | |
| 액추에이터의 무게 | WTa | 69 | g | |
응용 프로그램:
SUPTMOTION VCAZ 시리즈 음성 코일 액추에터는 다음과 같은 고 정밀 및 고속 자동화 시스템에서 널리 사용됩니다.
레이저 처리 장비
레이저 절단 머리 Z축 제어
레이저 포커싱 시스템
레이저로 표시하고 새기는 장비
반도체 제조
웨이퍼 위치 시스템
정밀 정렬 장비
칩 검사 및 처리 시스템
광학 및 광학 시스템
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