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반도체 마이크로 모션 컨트롤을 위한 고 반응 정밀 선형 음성 코일 모터
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x제품 상세 정보
| 보증 | 3개월~1년 | 제품 모델 | VCAB0262-0112-00A |
|---|---|---|---|
| 중량(g) | 285 | 피크 포스(N) | 262 |
| 전체 스트로크(mm) | 11.2 | 최대 전압(V) | 35.1 |
| 애플리케이션 | 자동 탄 화물 | 위치 정확도 | 높은 |
| 제품 유형 | 선형 음성 코일 모터 | 정류 | 브러시 |
| 연속적인 힘(N) | 111N | 유형 | 콤팩트 |
| 강조하다 | 정밀 선형 음성 코일 모터,반도체 마이크로 모션 모터,고 반응 음성 스필 액추에이터 |
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제품 설명
제품 설명:
웨이퍼 공정, 리소그래피, 검사 및 패키징과 같은 반도체 제조 공정에서 마이크로 포지셔닝 제어는 매우 높은 정확도, 빠른 응답 및 장기적인 안정성을 요구합니다. 직접 구동 방식과 뛰어난 동적 성능을 갖춘 리니어 보이스 코일 모터는 반도체 장비의 마이크로 변위 제어를 위한 이상적인 구동 솔루션이 되었습니다.
리니어 보이스 코일 모터는 전자기력을 통해 직접 추력을 생성하여 마이크로미터 수준 또는 심지어 나노미터 수준의 위치 결정 분해능으로 마찰이 없고 백래시가 없는 선형 운동을 가능하게 합니다. 기존의 리드 스크류 또는 서보 구동 메커니즘과 비교하여 리니어 보이스 코일 모터는 짧은 스트로크 범위 내에서 뛰어난 위치 정확도와 반복성을 제공합니다. 웨이퍼 정렬, 광학 초점, 프로브 접촉 제어 및 정밀 포지셔닝 스테이지에 특히 적합합니다.
고속 스캐닝 및 동적 보상 응용 분야에서 리니어 보이스 코일 모터는 높은 가속도와 고주파 응답을 제공하여 제어 명령을 정확하게 추적하고 시스템 오류 및 환경적 방해 요소를 효과적으로 보상할 수 있습니다. 부드럽고 진동이 적은 움직임은 마이크로 구조 제작 시 공정 방해를 최소화하고 안정적인 공정 성능을 보장하는 데 도움이 됩니다.
특징:
- 서브 마이크론 또는 나노미터 수준의 변위 분해능
- 고속, 고대역폭 동적 응답
- 뛰어난 반복성 및 장기적인 안정성
- 백래시 없음, 낮은 진동 및 입자 없는 움직임
- ISO 4–5 클린룸 환경과의 호환성
- 리드 스크류, 기어 또는 백래시 없음
- 변위 응답의 히스테리시스 없음
- 폐 루프 위치, 속도 및 힘 제어를 위한 높은 제어 대역폭
- 극도로 낮은 진동 및 음향 잡음
제품 매개변수:
| 제품 모델 | 최대 힘 (N) |
연속 힘 25℃에서(N) |
총 스트로크 (mm) |
최대 전압 (V) |
역기전력 상수 (V/m/s) |
코일 무게 (g) |
고정자 직경 | 샤프트 엔드 스레드 (mm) |
| VCAB0005-0039-00A | 5 | 1.5 | 3 | 5.4 | 0.9 | 23 | 29.5 | M2(외부) |
| VCAB0005-0050-00A | 5 | 2.2 | 3.9 | 14.5 | 3.1 | 27 | 31.5 | M2.5(외부) |
| VCAB0013-0072-00A | 13 | 4.2 | 7.2 | 26.6 | 5.72 | 16.2 | 26.2 | M3(외부) |
| VCAB0015-0062-00A | 15 | 6.5 | 6.2 | 26.2 | 9.75 | 14.8 | 33 | M3(외부) |
| VCAB0015-0127-00A | 15 | 4.9 | 12.7 | 21.5 | 4.1 | 12.5 | 30.5 | 샤프트 ∮4.8 |
| VCAB0022-0098-00A | 22 | 6.6 | 9.8 | 24.7 | 5.8 | 20 | 34.1 | M3(외부) |
| VCAB0022-0448-00A | 22 | 11.4 | 44.8 | 14.3 | 4 | 52 | 48 | M3(내부) |
| VCAB0032-0050-00A | 32 | 8.9 | 5 | 29.3 | 7.1 | 48 | 40 | M3(내부) |
| VCAB0033-0099-00A | 33 | 8 | 9.9 | 24.3 | 5.87 | 23.5 | 36 | M3(외부) |
| VCAB0033-0224-00A | 33 | 13.5 | 22.4 | 26.7 | 6.8 | 69 | 58 | M3(내부) |
| VCAB0035-0105-00A | 35 | 15.6 | 10.5 | 11.9 | 5 | 91 | 50 | M3(내부) |
| VCAB0044-0040-00A | 44 | 16.3 | 4 | 18.3 | 8.9 | 46.5 | 53 | M3(내부) |
| VCAB0044-0059-00A | 44.1 | 17.7 | 5.9 | 14.3 | 8 | 43 | 46 | M3(내부) |
| VCAB0044-0075-00A | 44 | 13.7 | 7.5 | 16.8 | 7.6 | 38.6 | 31.1 | M3(외부) |
| VCAB0044-0249-00A | 44 | 11.7 | 24.9 | 44.9 | 8.88 | 65.9 | 38.1 | M3(내부) |
| VCAB0070-0149-00A | 70 | 27.3 | 14.9 | 26.9 | 17.7 | 79 | 43 | M3(내부) |
| VCAB0087-0062-00A | 87 | 21.67 | 6.2 | 34.5 | 12.7 | 45.2 | 43.1 | M3(내부) |
| VCAB0087-0563-00A | 87 | 17.5 | 56.3 | 63.4 | 8.1 | 177 | 72 | 샤프트 ∮10 |
| VCAB0088-0191-00A | 88.5 | 23.2 | 19.1 | 29.9 | 8 | 162 | 50.8 | M3(내부) |
| VCAB0105-0164-00A | 105 | 35.4 | 16.1 | 20.1 | 11.5 | 150 | 60.4 | M3(내부) |
| VCAB0113-0089-00A | 113 | 35 | 8.9 | 31 | 17.5 | 125 | 73 | 샤프트 ∮8 |
| VCAB0262-0112-00A | 262 | 111 | 11.2 | 35.1 | 41 | 285 | 71 | 샤프트 ∮10 |
| VCAB0262-0249-00A | 262 | 112 | 24.9 | 28.2 | 26 | 785 | 66 | 샤프트 ∮8 |
| VCAB0294-0498-00A | 294 | 56.8 | 49.8 | 114 | 24.5 | 685 | 93 | 샤프트 ∮10 |
| VCAB0436-0187-00A | 436 | 147.6 | 18.7 | 40.7 | 40.7 | 648 | 80.4 | 샤프트 ∮10 |
| VCAB0436-0250-00A | 436 | 167 | 25 | 31.6 | 37.2 | 775 | 78.4 | 샤프트 ∮10 |
| VCAB0445-0300-00A | 445 | 185 | 30 | 33 | 35 | 920 | 76.2 | 샤프트 ∮10 |
응용 분야:
- 웨이퍼 정렬 및 포지셔닝 스테이지
- 리소그래피 초점 및 높이 보상
- 프로브 스테이션 Z축 및 접촉 제어
- AOI / AVI 고속 스캐닝 액추에이터
- 다이 본딩 및 패키징 마이크로 어셈블리
- 정밀 디스펜싱 및 마이크로 도징 시스템
